Kann die Bearbeitung von Deckeln für Halbleiter-Vakuumkammern die Dichtigkeit bewahren?
29. Oktober 2026
Ein Deckel für eine Halbleiter-Vakuumkammer dichtet nur dann zuverlässig ab, wenn seine Dichtfläche, Steifigkeit, Befestigungsanordnung und Prüfbezugspunkte als ein System behandelt werden. CNC-Bearbeitung kann die Dichtfläche des Deckels…
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